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기사입력 : 2020.02.13 11:30
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▲ 심우영 연세대학교 교수[사진제공=LG디스플레이]


[뉴스투데이=오세은 기자] LG디스플레이는 연세대 심우영 교수(신소재공학과) 연구팀과 수행한 공동 연구 결과가 세계적인 과학저널 네이처 커뮤니케이션즈 최신호에 게재됐다고 13일 밝혔다. 산학 협력 차원에서 이루어진 이번 연구는 25명의 연구진들이 3년에 걸쳐 이뤄낸 성과다.

논문은 유연하고 투명한 타입의 새로운 포토마스크(반도체 회로 제작 과정을 위해 회로의 배열이나 패턴을 담고 있는 투명기판)을 이용해 기존 포토마스크로는 불가능했던 크기의 초미세 패턴을 구현하는 포토리소그래피(마스크 패턴을 올려놓고 빛을 가해 사진을 찍듯 회로를 형성하는 것) 기술 개발에 관한 것이다. 심 연구팀이 개발한 이 기술은 액정표시장치(LCD)뿐만 아니라, 유기발광다이오드(OLED)에도 적용이 가능하다.

연구팀은 딱딱한 형태인 기존 포토마스크의 한계를 극복하기 위해 유연하고 투명한 타입의 새로운 마스크와 이를 사용하는 공정을 개발, 기존의 디스플레이용 노광장비로도 현재 만들 수 있는 크기의 1/100 수준에 해당하는 수십 나노미터의 초미세 패턴을 구현할 수 있게 했다. 초미세 패턴으로 만드는 섬세한 전자회로는 고해상도 구현에 필수적이다. 또한, 유연한 재질의 마스크는 휘어진 기판에도 적용 가능해 다양한 형태의 디스플레이 생산에 용이하다.

논문 공동 저자인 LG디스플레이 장기석 박사는 “이번에 개발된 포토리소그래피 기술은 미래 디스플레이 기술 발전에 크게 기여할 수 있는 씨드(종자) 기술”이라고 말했다.

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LG디스플레이-연세대, 포토리소그래피 신기술 네이처 게재
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